部分放电是指绝缘体系中只要部分区域在电场作用下，该区域的电场强度达到了击穿场强而发生放电，但没有击穿。当电压施加于绝缘体，其内部或许表面存在的气泡会先发生放电而其他部分介质继续坚持绝缘，这是最常常构成绝缘体部分放电的原因。发生气泡的原因许多，如制作进程中发生的残留气隙，不同材料组合绝缘因为膨胀系数差异逐渐发生裂缝，高分子材料老化蒸腾，高场强作用使得电荷不断注入导体引起注入点气化，等等。

   除气泡外，绝缘体中存在导电杂质使得杂质边际电场会合，也会引起局放。导体表面存在毛刺或导体自身就是针尖状的，会引起电场会合于针尖状附近。当电工产品中的某个金属部件无电衔接而成为一个悬浮电位体或导体衔接点间接触不良，会在该处呈现很高的电位差，引起局放。除电工设备内部外，电工设备的接头，如电力电缆的终端和中心接头，因为场强会合也易引发局放，构成绝缘毛病。

  局部放电巡检仪常发生在气隙中，气体放电的根本放电机理为电子磕碰电离和流注放电两类。电场作用不断激起出新的自由电子，这一现场称为电子崩。电子朝正电极方向展开，磕碰发生的正离子向阴极移动并炮击阴极表面，使阴极发射出二次电子，这样就坚持了气隙放电。当电极间距离较大，绝缘中存在长空隙时，光致电离同电子磕碰电离一齐对气隙放电起作用。电子磕碰电离发生时，当离子和电子的浓度很高时，会发生复合放出光子，光子会激起中性分子继续电离放出电子，这就发生了二次电子崩。二次电子崩与初次电子崩的集合敏捷扩大了等离子区，当等离子区贯穿两个电极时，气隙就会发生放电，这个进程就是流注放电。光致电离的速度快于电子磕碰电离使得流注放电速度比单靠电子磕碰电离引起的放电速度快。